9游会日前，由位于肇庆高新区的中导光电设备股份有限公司（以下简称“中导光电”）研发制造的纳米级有图形晶圆缺陷检测设备运交客户工厂。此次交付的NanoPro-150机型还是国内半导体前道制程有图形检测设备国产化的一次突破。
据介绍，与传统“无图形晶圆缺陷检测设备”相比较，“有图形晶圆缺陷检测设备”技术难度大幅提升，运用范围更广，产品的经济价值和市场空间也是前者的数倍。
而中导光电研制的“有图形晶圆缺陷检测设备”产品具有灵敏度高、检出速度快等特点，适用于半导体芯片0.13μm-0.18μm及以上制造工艺的需求，同类产品品质媲美国际顶尖公司。
中导光电是一家半导体工业前道制程高端缺陷检测设备研发和产业化的专业公司，成立以来的16年内，在平板显示（FPD）等工业领域销售检测设备近300台。公司曾承担国家级科研项目、省市科研项目数十项，积累了丰富的半导体高端检测设备研发与产业化经验，是半导体工业前道制程高端缺陷检测领域的关键国产替代供应商。
中导光电目前正在销售和即将进入市场的产品9游会，可覆盖国内半导体前道检测设备需求市场的90%以上，为中国半导体工业检测设备的国产化贡献力量9游会。
集“亮场”和“暗场”于一体，既保证对光刻、刻蚀等关键制程的检测要求，也提供经济高效的检测方案，拓展设备的应用场景，降低设备的使用成本。
采用“多通道成像（MCI）技术”，提高设备对不同“被检测材料/物体”的检测灵敏度。
使用“动态影像解析度扩展（HDR）技术”，更好地解决“金属-非金属”混合表面“明暗反差”问题。
集成大量先进的图像识别与人工智能软件技术9游会，且能够与国际半导体制造业通用软件系统和信息交换系统相匹配。
